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宁夏盾源聚芯申请提高石墨电极利用率的石英坩埚熔融装置及制备方法专利

作者:1180发布时间:2024-10-18

2024年10月16日消息,国家知识产权局信息显示,宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司申请一项名为“提高石墨电极利用率的石英坩埚熔融装置及石英坩埚制备方法”的专利,公开号CN 118771690 A,申请日期为2024年7月。
 

专利摘要显示,一种提高石墨电极利用率的石英坩埚熔融装置,包括升降组件、加热组件、密封罩、能够转动的支撑设备,支撑设备具有熔制空腔,密封罩设置在支撑设备的上方,且密封罩能够上下升降,密封罩与支撑设备接触后将熔制空腔密闭,加热组件设置在熔制空腔内,密封罩的上方设有升降组件,升降组件的伸缩端贯穿密封罩,加热组件与升降组件的伸缩端固定连接,在制备石英坩埚过程中,通过升降组件控制加热组件在熔制空腔内的位置,以使加热组件熔化熔制空腔内的石英砂埚胚,本发明还提供一种提高石墨电极利用率的石英坩埚制备方法。